Elektrostatische Entladung und Reinigung für Technologieanwendungen

PRECISION, das Entladesystem für ESD-sensitive Applikationen, garantiert durch die Verwendung von Hochfrequenz-Technologie eine extrem geringe Restladung (Offset-Spannung).

Elektronische Bauelemente und Baugruppen können in Abhängigkeit von ihrer Größe sehr empfindlich auf elektrostatische Entladungen (engl. electrostatic discharge / ESD) reagieren. Bereits die spontane Entladung geringer Spannungen von weniger als 100 V stellt eine potenzielle Gefährdung dieser Baugruppen dar und kann zur Schwächung oder Zerstörung führen.

In Bereichen, in denen ESD-sensitive Bauelemente (engl. electrostatic discharge sensitive devices/ ESDS) hergestellt oder weiterverarbeitet werden, müssen solche Entladungen deshalb absolut vermieden werden. Solche Fertigungsbereiche werden als ESD-Schutzzonen (engl. electrostatic protected area / EPA) ausgewiesen.

Die Ionisatoren PRECISION garantieren konform zur aktuell gültigen Norm DIN EN 61340-5-1:2017 bzw. IEC 61340-5-1: 2016 eine minimale Offsetspannung bzw. Restladung.

Die Ionisatoren arbeiten druckluftunterstützt und können somit für kurze und mittlere Arbeitsabstände verwendet werden. Die Hochspannungsversorgung ist genauso wie die Überwachung integriert, was eine platzsparende und einfache Systemintegration ermöglicht.